MEMS传感器芯片是一款采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器芯片，适用于各种物理量、化学量或生物量的检测和控制应用。它具有以下特点：

* 它将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等集成于一块或多块芯片上，实现微型化、集成化、智能化的传感器功能。

* 它可以实现对温度、压力、加速度、角速度、磁场等物理量的精确测量，并将其转换为数字信号或模拟信号输出。

* 它可以实现对气体、液体、生物分子等化学量或生物量的灵敏检测，并将其转换为数字信号或模拟信号输出。

* 它可以实现对声波、光波、热波等波形信号的发射或接收，并将其转换为数字信号或模拟信号输出。